服务热线： 【48812】柔性显现技能工艺
来源：ob欧宝最新地址 发布时间：2024-07-02 10:27:09 浏览量：1塑胶基板资料多是有机高分子，在使用上最契合器的概念。挑选塑胶基板资料时，其机械、光学或热性质有必要能契合器的要求，例如为满意较高的加工或操作温度，热线胀系数有必要要小;光穿透率需大于90%;好的外表性质利于外表薄膜的成形及关于一些常用的有机溶剂有必定的反抗才能。此外若使用在液晶中，因为有些过程需要在较高温的环境下完结，因而塑胶基板在高温下的资料或尺度稳定性成为极重要的参阅条件。
玻璃改变温度(Tg)即物质在特定温度下加热，体积以必定的速率添加，当温度抵达玻璃改变温度时，不光分子速率添加且体积胀大曲线也不接连。关于无定形高分子在Tg以下的行为相似玻璃，而当温度上升至Tg以上时，则其改变成柔软相似橡胶的性质。关于柔性显现器的塑胶基板而言，玻璃改变温度可视为制造程序中尺度稳定性所能忍受的最高温度。即便在表1中，部分高分子基板的玻璃改变温度都大于200℃，但与玻璃基板比起来，其热胀大系数仍大得多(50 ppm/℃)，这样的一种情况下，尺度稳定性成为塑胶基板柔性显现器工艺中的最大应战。尺度改变过大使得光罩对位变得极为困难，也约束了晶体管规划的巨细，一起简单在有机与无机资料层界面间发生内应力，导致在曲折时形成层与层间的剥离。
现在对此问题的处理办法是先对塑胶基板作热处理(Annealing)，在工艺开端前，塑胶基板通过数次热周期使其在冷却后尺度缩短率降至数个ppm后再进行后续工艺。除尺度稳定性外，在室温下水气对一般塑胶基材的浸透率约为0.1～1g/m2/day，远大于玻璃基板的10-5g/m2/day。有机发光器材的操作寿数对水气及氧气的存在十分灵敏，因而塑胶基板隔绝水氧才能会极度影响有机发光器材的寿数，在塑胶基板上镀Barrier Layer到达阻水氧功能为现在的首要做法。美国Vitex Systems公司研制由无机层与有机层交织组合而成的多层结构，称为Barix Coating，可到达水气与氧气浸透度别离小于10-5g/m2/day及10-3 cc/m2/day atm，这是现在文献上隔绝水气与氧气浸透度最佳的工艺。
显现器根据驱动办法可分为无源矩阵式与有源矩阵式两种，跟着时下人们对显现器的需求向大尺度与高分辨率方向开展，有源驱动显现器已成为平面显现器的首要盛行趋势。有源式柔性显现器就资料而言可分为非晶硅(A-Si)、多晶硅(Poly-Si)及有机(Organic)等薄膜晶体管。就工艺办法来说，现在其技能可分为两种，一为直接技能(Direct Technology)，即直接在塑胶基板上制造薄膜晶体管，另一种为转贴技能(Transfer Technology)。
直接技能受限于塑胶基板的耐热性，整个工艺有必要低温进行才不至于损害基板。表2为不同薄膜晶体管工艺温度比较。现在美国的FlexICs已在塑胶基板上成功制造出低温多晶硅的薄膜晶体管数组，工艺温度不高于115℃。Samaung Electrics则是在PES基板上制造a-Si TFT，其元器材特性迁移率(Mobility)可达0.4 cm2/V-sec，一切工艺温度也低于150℃。
此外，挑选有机半导体资料制造有机薄膜晶体管也招引了许多研讨机构投入相关研制。就分子结构来说，有机半导体资料可分为小分子与高分子两种。Pentacene是最常被选用的小分子有机半导体资料，它可在80～100℃下直接蒸镀在塑胶基板上，迁移率达0.3～2.2 cm2/V-sec的元器材已成功制造出来，但工艺中需利用到贵重的真空设备，且晶体管数组的尺度无法作大是其亟需战胜的问题。
现在以喷墨法(Inkjet Printing)在塑胶基板上直接制造有机薄膜晶体管为首要开展趋势，图1为喷墨工艺示意图，Lucent及DuPont等公司都有相关的研讨，Xerox也在2004年4月宣布以其自行开发的有机半导体(Organic Semiconductor Ink)调配喷墨法，在PES基板上制造出208×208的OTFT数组。图2为其Organic Semiconductor分子结构，此研讨的突破点在于其有机半导体可在低温及大气环境下加工，且因有机半导体分子具有Alky Group侧链，若将此Ink喷印在处理后的PI上，分子摆放较为规矩且有方向性，具有Self-assembling的特色，其元器材特性迁移率达0.2 cm2/V-sec且开关频率(on/off ratio)达108。
转贴技能是制造薄膜晶体管时防止塑胶基板尺度变异的另一种办法，它先在玻璃基板上制造薄膜晶体管，再转贴到塑胶基板上。整个工艺包括下列几个过程：
整个工艺如图3所示。Seiko-Epson与Sony均选用上述办法在塑胶基板上制造a-Si TFT，但现在并没有商品化的产品面世。
现在首要有LCD、OLED及电泳显现等三种技能可使用在柔性显现器上。现阶段而言，因为LCD相关研讨及机台设备较为老练而较占优势;OLED显现机制上的特性极合适显现器的使用;电泳显现因具有双稳态及省电长处，在特定的用途上(如电子纸、电子书、电子标签等)较有商场。
全球有许多公司投入OLED显现器技能的研讨，其间日本专心于小分子体系资料(Small Moleculer Material)的有机发光显现器(OLED)，而欧美则专心于高分子体系资料(Polymer Material)的有机发光显现器(PLED)。
